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      高真空燒結爐的詳細操作方法分享
      發布時間:2022-01-14   點擊次數:204次
        高真空燒結爐是一種主要用于半導體元器件及電力整流器件的燒結工藝,可進行真空燒結,氣體保護燒結及常規燒結,是半導體專用設備系列中一種新穎的工藝裝備。它設計構思新穎,操作方便,結構緊湊,在一臺設備上可完成多個工藝流程,也可用于其他領域內的真空熱處理,真空釬焊等工藝。
        下面咱們來了解下高真空燒結爐的操作方法:
        1、通電前,檢查各開關,升溫方式“手動”,功率調節逆時針旋到頭。
        2、控制電源開:根據工藝要求順序來啟動機械泵、擴散泵。
        3、爐內真空度測量:根據真空計的操作進行,當達到要求的真空度時,才能加熱升溫。
        4、抽真空:緊閉所有的真空閥門,啟動機械泵,待其運轉正常后,打開通向爐體的低真空閥,預先對爐體抽氣,此閥打開時應緩慢,以免機械泵排氣口處有油噴出。
        5、爐體抽真空同時,打開另低真空閥,對擴散泵抽氣,當真空度達到15Pa后,先開啟擴散泵上的冷卻水,然后對擴散泵加熱,經過45分鐘左右擴散泵起作用,就可關上通向爐體的真空閥,打開閥門,真空度很快可以達到1.33×10-1Pa以上,即可通電加熱。
        6、加熱因放氣較多,真空度容易下跌,另外工件加熱放氣也使真空下跌,所以要慢慢升溫真空度下跌到1.5帕停止加熱,等真空度回升到0.5帕以上再慢慢加熱。因擴散泵低于20帕就無法工作,另外擴散泵油在太低真空下易氧化,擴散泵就無法作用。也可在低真空下加熱除氣,等放氣基本結束,再開高真空。另外電爐在不用時抽真空狀態下保存,下次抽氣快些。欲停止抽真空,應先關閉高真空閥,然后停止加熱,1個半小時后,關閉低真空閥,停止機械泵運轉,只有在擴散泵完冷卻之后,才切斷其冷卻水供應。
        7、手動升溫:在爐溫200℃以下先用手動方式升溫,否則控溫不準。在真空狀態下按動加熱啟動按鈕,緩慢調節手動功率調節(順時針方向),使電流慢慢上升,禁止超過次額定電流1100A,電爐溫度隨之上升。1000-2000℃,可采用紅外自動控制爐溫。
        8、降溫可按預先設定的程序控制降溫,也可直接把加熱關閉讓其自行降溫。但降溫過程中不允許停水,否則爐體密封圈會燒壞。
        9、其外表應經常保持整潔,不用時應保持真空,否則下次使用會導致抽真空率降低。使用半年左右應對軸向密封部位加注真空密封脂,軸向密封指觀察窗擋板座、氣動真空蝶閥等部位,自動進出熱電偶系統在使用半年后應旋開熱電偶座加注擴散泵油。
        10、觀察窗玻璃(別是紅外儀用的觀察窗)在使用后應卸下清潔。

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